сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Сплав на основе алюминиево-магниевой системы для разработки мишени магнетронного напыления тонких пленок
https://doi.org/10.22349/1994-6716-2020-104-4-109-112
Аннотация
Приведены результаты исследований по разработке прецизионного сплава системы Al-Mg-Ce-La-Y для получения тонких пленок с использованием метода магнетронного напыления. Тонкие пленки применяются для создания на их основе элементов электронной техники.
При поддержке: Работа выполнена в рамках договора с Лаппеенрантским технологическим институтом «Россия - Юго-Восточная Финляндия 2014-2020»
Об авторах
Р. Ю. Быстров
НИЦ «Курчатовский институт» — ЦНИИ КМ «Прометей»
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
А. Н. Беляков
НИЦ «Курчатовский институт» — ЦНИИ КМ «Прометей»
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
А. Ф. Васильев
НИЦ «Курчатовский институт» — ЦНИИ КМ «Прометей»
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
И. С. Прудников
НИЦ «Курчатовский институт» — ЦНИИ КМ «Прометей»
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
Б. В. Фармаковский
НИЦ «Курчатовский институт» — ЦНИИ КМ «Прометей»
Россия
Россия
Кандидат технических наук.
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49.
Список литературы
1. Kelly P. J., Arnell R. D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications // Vacuum. - 2000. - N 56. - P. 159-172.
2. Ешмеметьева Е. Н., Шолкина М. Н., Фармаковская А. Я., Быстров Р. Ю. Магнетронное напыление функционально-градиентных износостойких наноструктурированных покрытий // // Материалы II международной заочной конференции «Инновационные материалы и технологии в машиностроительном производстве», Орск. - Изд-во Орского гуманитарно-технологического института (филиала ОГУ), 2013. - 187 с.
3. Кирюханцев- Корнеев Ф. В., Шевейко А. Н., Левашов Е. А. Штанский Д. В. Перспективные наноструктурированные покрытия для машиностроения // Вопросы материаловедения. -2015. - № 3(83). - С. 122-132.
4. Грачев В. И., Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. Основы синтеза наноразмерных частиц и пленок.- Ижевск, 2014. - 387. с.
5. Суздалев И. П. Нанотехнология: физикохимия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов. - СПб.: Книжный дом «ЛИБРОКОМ», 2008. - 445 с.
6. Бобкова Т. И. Разработка материалов и технологии получения износостойких градиентных покрытий на базе наноструктурированных композиционных порошков // Автореф. дис. ... канд. техн. наук. - СПб., 2017.
7. Горынин И. В., Орыщенко А. С., Фармаковский Б. В., Васильева О. В., Васильев А. Ф., Виноградова Т. С., Ешмеметьева Е. Н., Самоделкин Е. А., Кузнецов П. А. Биотехнологические исследования, проводимые в научном нанотехнологическом центре ФГУП ЦНИИ КМ «Прометей» // Вопросы материаловедения. - 2016. - № 3(87). - С. 82-97.
8. Перспективные направления развития науки в Петербурге / Под ред. Ж. И. Алферова и др. // СПб.: Изд-во И. П. Пермяков С. А. - 2015. - 543 с.
Рецензия
Для цитирования:
Быстров Р.Ю., Беляков А.Н., Васильев А.Ф., Прудников И.С., Фармаковский Б.В. Сплав на основе алюминиево-магниевой системы для разработки мишени магнетронного напыления тонких пленок. Вопросы материаловедения. 2020;(4(104)):109-112. https://doi.org/10.22349/1994-6716-2020-104-4-109-112
For citation:
Bystrov R.Yu., Belyakov A.N., Vasiliev A.F., Prudnikov I.S., Farmakovsky B.V. Alloy based on the al-mg system for developing a target for magnetron thin films sputtering. Voprosy Materialovedeniya. 2020;(4(104)):109-112. (In Russ.) https://doi.org/10.22349/1994-6716-2020-104-4-109-112
Просмотров:
233
Послать статью по эл. почте 