

Получение композиционного катода для магнетронного напыления функциональных покрытий
https://doi.org/10.22349/1994-6716-2017-92-4-76-81
Аннотация
Разработана и освоена в научном нанотехнологическом центре НИЦ «Курчатовский институт» – ЦНИИ КМ «Прометей» технология получения композиционных катодов для вакуумного магнетронного нанесения функциональных покрытий. На примере системы Ti–Ru показаны перспективы создания композиционных катодов из дорогостоящих и труднодеформируемых материалов с помощью активированной пайки аморфными припоями.
Об авторах
Р. Ю. БыстровРоссия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
А. Н. Беляков
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
А. Ф. Васильев
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
Д. А. Геращенков
Россия
канд. техн. наук
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
Е. Ю. Геращенкова
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
Е. Н. Барковская
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
М. А. Коркина
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
Е. А. Самоделкин
Россия
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
Б. В. Фармаковский
Россия
канд. техн. наук
191015, Санкт-Петербург, Шпалерная ул., 49
Список литературы
1. Грачев В. И., Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. Основы синтеза наноразмерных частиц и пленок. – Ижевск: Удмуртия, 2014. – 480 с.
2. Берлин Е. В., Сейдман Л. А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным напылением. – М.: Техносфера, 2014. – 256 с.
3. Raoelison R. N., Verdy Ch, Liao H.. Cold gas dynamic spray additive manufacturing today: Deposit possibilities, technological solutions and viable applications // Materials & Design. – 2017. – V. 133. – P. 266–287.
4. Геращенков Д. А., Фармаковский Б. В., Самоделкин Е. А., Геращенкова Е. Ю., Исследование адгезионной прочности композиционных армированных покрытий системы металл–неметалл, полученных методом холодного газодинамического напыления // Вопросы материаловедения. – 2014. – №2(78). – С. 103–117.
5. Горынин И. В., Фармаковский Б. В., Васильев А. Ф., Виноградова Т. С., Самоделкин Е. А. Активированная пайка разнородных материалов аморфными припоями // Вопросы материаловедения. – 2016. – №2(86). – С. 111–119.
6. Геращенков Д. А., Васильев А. Ф., Фармаковский Б. В., Машек И. И. Исследование температуры потока в процессе холодного газодинамического напыления функциональных покрытий // Вопросы материаловедения. – 2014. – №1(77) – С. 87–96.
7. Пат. RU 2486995. Способ получения композиционного катода / Бурканова Е. Ю., Самоделкин Е. А., Фармаковский Б. В., Геращенков Д. А., Васильев А. Ф., Коркина М. А. Опубл. 10.07.2013 // Бюлл. №19.
8. Ешмеметьева Е. Н., Беляков А. Н., Быстров Р. Ю., Васильев А. Ф., Кузнецов П. А., Фармаковский Б. В. Особенности формирования покрытий системы Ti–Ru–O методом вакуумного магнетронного напыления на постоянном токе // Вопросы материаловедения. – 2017. – №1(89). – С. 115–122.
Рецензия
Для цитирования:
Быстров Р.Ю., Беляков А.Н., Васильев А.Ф., Геращенков Д.А., Геращенкова Е.Ю., Барковская Е.Н., Коркина М.А., Самоделкин Е.А., Фармаковский Б.В. Получение композиционного катода для магнетронного напыления функциональных покрытий. Вопросы материаловедения. 2018;(1(93)):76-81. https://doi.org/10.22349/1994-6716-2017-92-4-76-81
For citation:
Bystrov R.Yu., Belyakov A.N., Vasiliev A.F., Geraschenkov D.A., Geraschenkova E.Yu., Eshmemetieva E.N., Korkina M.A., Samodelkin E.A., Farmakovsky B.V. Obtaining the composite cathode for magnetic spraying of functional coatings. Voprosy Materialovedeniya. 2018;(1(93)):76-81. (In Russ.) https://doi.org/10.22349/1994-6716-2017-92-4-76-81