Исследование процесса формирования тонкопленочных функциональных хромовых покрытий на сферических прецизионных узлах гироприборов

Представлены результаты исследований по напылению пленок хрома толщиной от десяти нанометров до единиц микрометра на сферические поверхности прецизионных изделий. Предложены технические решения по разработке средств оснащения и методике контроля толщины покрытий непосредственно в процессе напыления. Приведены зависимости электропроводности пленок от их толщины и условий напыления, а также данные по влиянию покрытий на рабочие параметры изделий на примере сплошного бериллиевого ротора электростатического гироскопа. Определены перспективы использования разработанной технологии для решения конкретных задач улучшения рабочих характеристик узлов гироприборов. 

1. Peshekhonov V. G. Gyroscopic navigation systems: Current status and prospects // Gyroscopy and Navigation. – 2011. – V. 2, N 3. – P. 111–118.

2. Анфиногенов А. С. Гироскоп с электрическим подвесом ротора // Морское приборостроение. – 1971. – № 6. – С. 64–73.

3. Беляев С. Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов // Изв. вузов: Приборостроение. – 2009. – Т. 52, № 3. – С. 73–79.

4. Kulkarni A. K., Chang L. C. Electrical and structural characteristics of chromium thin films deposited on glass and alumina substrates. – Dep. of Electrical Engineering, Michigan Technological UniÍersity, Houghton, MI 49931, USA Thin Solid Films. – 1997. – N 301. – P. 17–22.

5. Ландау Б. Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором // Гироскопия и навигация, № 1. – СПб.: ЦНИИ «Электроприбор», 1993.

6. Беляев С.Н., Щербак А.Г. Исследование процессов напыления сверхтонких пленочных покрытий на сферические узлы гироприборов // Гироскопия и навигация. – 2010. – № 2. – С. 57–62.

7. Хокинг М., Васантасри В., Скидки П. Металлические и керамические покрытия. – М.: Мир, 2000. – 518 с.

8. Беляев С. Н., Щербак А. Г. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющих форму тел вращения // Материалы юбилейной Х конференции молодых ученых «Навигация и управление движением». – АО Концерн ЦНИИ «Электроприбор», 2009. – С. 68–73.]

9. Патент RU № 2105663, B25J007/00 / Веселов А. В. Способ манипулирования сферическим объектом.

10. Беляев С. Н. Исследование процессов прецизионного формообразования сферических элементов узлов гироприборов с использованием прогрессивных методов выполнения неразъемных соединений // Автореф. дис. ... канд. техн. наук. – СПб.: АО Концерн ЦНИИ «Электроприбор», 2009.

11. Патент RU № 2555699, C23C14/00, B05C13/00 / Щербак А. Г., Беляев С. Н., Юльметова О. С. Фомичев А. М. Устройство для напыления тонкопленочных покрытий на сферические роторы электростатического гироскопа // Бюл. № 19. – 10.07.2015.

12. Свойства элементов: Справочник / Под ред. М. Е. Дрица. – М.: Металлургия, 1985.