

On the formation of thin-film functional Cr-coatings on spherical precise units of gyro devices
Abstract
The paper shows research results of the chromium sputtering on the spherical surface of precision products (film thickness varying from ten nanometers to a few micrometers). Technical solutions for tools equipment development and methods of thickness control directly during spraying have been proposed. The details of electrical conductivity dependence on thickness of the coating and sputtering conditions, as well as data on the effect of coating on operating parameters of the products have been presented considering electrostatic gyroscope rotor made of beryllium. There are prospects for this technology in the field of performance improving for units of gyro devices.
About the Authors
A. G. ScherbakRussian Federation
S. N. Belyaev
Russian Federation
B. A. Loginov
Russian Federation
References
1. Peshekhonov V. G. Gyroscopic navigation systems: Current status and prospects // Gyroscopy and Navigation. – 2011. – V. 2, N 3. – P. 111–118.
2. Анфиногенов А. С. Гироскоп с электрическим подвесом ротора // Морское приборостроение. – 1971. – № 6. – С. 64–73.
3. Беляев С. Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов // Изв. вузов: Приборостроение. – 2009. – Т. 52, № 3. – С. 73–79.
4. Kulkarni A. K., Chang L. C. Electrical and structural characteristics of chromium thin films deposited on glass and alumina substrates. – Dep. of Electrical Engineering, Michigan Technological UniÍersity, Houghton, MI 49931, USA Thin Solid Films. – 1997. – N 301. – P. 17–22.
5. Ландау Б. Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором // Гироскопия и навигация, № 1. – СПб.: ЦНИИ «Электроприбор», 1993.
6. Беляев С.Н., Щербак А.Г. Исследование процессов напыления сверхтонких пленочных покрытий на сферические узлы гироприборов // Гироскопия и навигация. – 2010. – № 2. – С. 57–62.
7. Хокинг М., Васантасри В., Скидки П. Металлические и керамические покрытия. – М.: Мир, 2000. – 518 с.
8. Беляев С. Н., Щербак А. Г. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющих форму тел вращения // Материалы юбилейной Х конференции молодых ученых «Навигация и управление движением». – АО Концерн ЦНИИ «Электроприбор», 2009. – С. 68–73.]
9. Патент RU № 2105663, B25J007/00 / Веселов А. В. Способ манипулирования сферическим объектом.
10. Беляев С. Н. Исследование процессов прецизионного формообразования сферических элементов узлов гироприборов с использованием прогрессивных методов выполнения неразъемных соединений // Автореф. дис. ... канд. техн. наук. – СПб.: АО Концерн ЦНИИ «Электроприбор», 2009.
11. Патент RU № 2555699, C23C14/00, B05C13/00 / Щербак А. Г., Беляев С. Н., Юльметова О. С. Фомичев А. М. Устройство для напыления тонкопленочных покрытий на сферические роторы электростатического гироскопа // Бюл. № 19. – 10.07.2015.
12. Свойства элементов: Справочник / Под ред. М. Е. Дрица. – М.: Металлургия, 1985.
Review
For citations:
Scherbak A.G., Belyaev S.N., Loginov B.A. On the formation of thin-film functional Cr-coatings on spherical precise units of gyro devices. Voprosy Materialovedeniya. 2016;(3(87)):74-81. (In Russ.)